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中国首家12英寸晶圆再生工厂在合肥量产

http://www.groopies.net 2021年07月16日 00:02 来源:汉网 手机版

中新社合肥7月15日电 (记者 赵强)安徽省合肥市人民政府15日发布消息称,合肥至微项目当日正式量产,这是中国国内首个立项又最先量产的12英寸晶圆再生工厂。

所谓“晶圆再生”,指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷,使处理后的晶圆达到新片的标准,实现其循环再利用,进而为企业节约大量成本。

据介绍,合肥至微项目总投资近10亿元(人民币,下同),2020年3月正式开工,2020年12月项目设备基本搬入调试,2021年3月,进入试生产阶段,至6月进入量产阶段。

合肥量产的这一晶圆再生项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础,是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线。该项目全面达产后,可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力,满产后年产值可超过6亿元。

据了解,在此之前,中国高阶的晶圆再生需求都要送到日本、中国台湾等地处理。而随着至微项目的量产,合肥将成为满足晶圆再生需求的重要基地。

经过多年发展,合肥已成为中国国内集成电路产业发展最快、成效最显著的城市之一。目前已集聚集成电路企业超300家、从业人员超2万人,拥有晶合集成、通富微电等一批行业龙头,成为中国少数几个拥有集成电路设计、制造、封装测试及设备材料全产业链的城市之一。

合肥至微项目的成功量产,将成为中国最早具备12英寸晶圆再生及关键设备零部件再生能力的项目之一,这为合肥市集成电路产业链添上重要一环,也为产业高质量发展注入了新的动力。(完) 【编辑:黄钰涵】

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